CO2的臨界溫度接近于室溫,且CO2無毒,不易燃易爆。因此CO2必然是進行超臨界流體干燥的一種良好干燥介質。液態CO2置換超臨界干燥法是用CO2取代有機溶劑作為干燥介質進行超臨界干燥。
該方法首先將凝膠內的液體溶劑用液態CO2置換,再升溫增壓使CO2達到超臨界狀態,利用CO2的超臨界性質進行氣凝膠干燥。因為該干燥過程溫度較低,故此方法也稱低溫超臨界CO2干燥法。
以醇凝膠干燥為例,將醇凝膠放入超臨界干燥器內通入液態CO2進行溶劑替換,以除去醇凝膠內的水和乙醇,再通過升溫和增壓,達到二氧化碳的超臨界條件,保持一定時間后緩慢放出二氧化碳氣體,得到氣凝膠固體。